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高純SiC原料

高純SiC原料


主要特征

8-40目/mesh

顆粒度精確可控

99.9995%

純度不低于99.9995%

純度:指采用GDMS全元素檢測(不含N元素), 使用100%減去所測元素含量所得值,其中小于 檢測限的元素按照0%的濃度進行統(tǒng)計


參數(shù)表

高純度SiC原料(用于導(dǎo)電單晶生長)

元素單位含量
Bppm<0.20
AIppm<0.20
Vppm<0.10
Tippm<0.10
Feppm<0.10
Nappm<0.20
Pppm<0.20
Sppm<0.50
Coppm<0.05
Nippm<0.05
Zrppm<0.50
Wppm<0.50
純度%≥99.9995
粒徑分類 粒徑占比 形貌
5-8#≥95%顆粒料
8-20#≥95%顆粒料
20-40#≥95%顆粒料
8-20#≥95%針狀料
20-40#≥95%針狀料
粒徑分類粒徑占比
形貌
5-8#≥95%顆粒料
8-20#≥95%顆粒料
20-40#≥95%顆粒料
8-20#≥95%針狀料
20-40#≥95%針狀料
以上為典型值

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